研究方向

1.低维半导体材料与器件

2.新型传感器件

3.集成电路设计与ESD防护

科研成果（部分）

1.在国际上首次开发出多功能宽密度等离子体系统，可在宽密度工艺范围(108-1013 /cm3)内实现稳定的等离子体放电新型传感器件；

2.利用多功能宽密度等离子体系统实现了对二维材料精确、无损的表面改性；

3.开发了反向气流外延法的CVD制备技术，实现了TMD材料的大面积可控制备；

4.基于商用喷墨打印机，结合化学气相沉(CVD)，实现了二维层状半导体材料(MoS2、MoSe2)超快图案化制备；

5.开发出石墨烯电镀技术，研发大尺寸高质量MoS2/Graphene二维垂直异质结及其高响应度光电探测器；

6.研发了面向湿度、血糖、物质含水量检测等多款传感器及检测系统；

7.研发了滤波器、双工器等射频器件；

8.基于直写打印实现了双电层TFT的湿度传感器的制备；

9.空间站核心舱某控制系统核心芯片设计；

10.面向AI的多核处理器设计及验证关键技术开发。